檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "缺陷".ckeyword (精準) and year="97"
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在半導體製造的生產流程上，即時的品質量測和檢測在管制及改善良率上扮演著日趨重要的角色，特別是在先進的12吋晶圓廠上。因此在製程上，晶片層級的量測方法和缺陷檢測是急待突破的兩塊領域。本文針對量測問題提…
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半導體積體電路的製造過程是歷經數百個製程步驟，而且涵蓋了物理、化學、熱力學、動力學、機械…等複雜領域交互配合而成。在製造過程中，難免會產生缺陷（defect），有些缺陷並不容易用傳統的測試方法發現，…
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本論文主要分為兩個部分，第一部分為氧化鋅奈米桿之水熱法製備，並以之作為NO2氣體感測元件；第二部分探討氧化鋅奈米桿晶格中的缺陷濃度，及其對導電性及氨氣感測之影響。 藉由醋酸鋅及HMTA前驅物…